题目:非硅MEMS三维集成制造典型器件及应用
报告人:杨卓青 教授,上海交通大学“微米纳米加工技术全国重点实验室”
主持人:黄天云 助理教授
时间:2024年3月21日(周四)上午10:00-11:00
地点:新葡萄8883国际官网环科新楼(刘水楼)B122室